3靶等離子濺射儀的使用分3個(gè)步驟，即裝樣品、抽真空、濺射，待廠家為您一一講解：

　　一、裝樣品
　　1、充氣：打開(kāi)充氣旋鈕，使得空氣進(jìn)入鐘罩。
　　2、開(kāi)電源總開(kāi)關(guān)，接通電源。
　　3、升鐘罩：將“升”開(kāi)關(guān)撥到下方，待鐘罩升到合適位置時(shí)，按住“停”按鈕，鐘罩停止上升，將“升”開(kāi)關(guān)撥回到上方。
　　4、放樣品：將放有樣品的載物臺(tái)固定到鐘罩中。
　　5、降鐘罩：按一下“降”按鈕，鐘罩開(kāi)始往下降，降到適當(dāng)?shù)奈恢檬沟苗娬置芊鈺r(shí)自動(dòng)停止。（注意，在鐘罩將要降到底時(shí)可以在前邊稍往上抬鐘罩，以保證鐘罩的密封效果，利于后面的真空抽取。）
　　6、將充氣旋鈕旋緊。
　　二、抽真空
　　1、抽低真空：樣品裝好后，再一次確認(rèn)充氣旋鈕已旋緊。然后將電源開(kāi)關(guān)旋鈕打到機(jī)械泵，打開(kāi)低真空計(jì)。
　　2、（逆時(shí)針）旋轉(zhuǎn)管道閥門(mén)Ⅰ，在旋轉(zhuǎn)到zui滿(mǎn)時(shí)回旋1-2圈；過(guò)一會(huì)后（一般這時(shí)候真空機(jī)壓強(qiáng)在10Pa左右），逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)打開(kāi)管道閥門(mén)Ⅱ。
　　3、上面步驟完成后，機(jī)械泵抽一段時(shí)間后，當(dāng)真空計(jì)讀數(shù)在6-5Pa左右時(shí)，可打開(kāi)擴(kuò)散泵。
　　4、通冷卻水，再將電源開(kāi)關(guān)旋到擴(kuò)散泵。
　　5、約半小時(shí)后，關(guān)閉管道閥門(mén)Ⅰ，（逆時(shí)針、打開(kāi)打開(kāi)擴(kuò)散泵旋鈕（至滿(mǎn)回旋1-2圈、。這時(shí)候低真空計(jì)壓強(qiáng)將會(huì)突然變大，待壓強(qiáng)再一次回到
　　10Pa后，打開(kāi)高真空計(jì)（方法看下一步、。
　　6、抽高真空：按下高真空計(jì)電源開(kāi)關(guān)，再按下燈絲按鈕；將壓強(qiáng)檔打到10-1檔，抽真空到壓強(qiáng)小于1×10-1Pa時(shí)，可打到10-2檔，依次類(lèi)推，知道滿(mǎn)足自己的需要（一般zui大能達(dá)到×10-3檔、。
　　三、濺射
　　1、先講濺射裝置打開(kāi)，有加速電壓、中和電壓、陰極電流和陽(yáng)極電壓。（注意還有外接的毫安表，這是用來(lái)測(cè)試流過(guò)靶材的電流。、
　　2、先將真空計(jì)回旋一檔（×10-2、，通A氣，當(dāng)達(dá)到滿(mǎn)足的要求時(shí)位置（通氣時(shí)要慢慢的旋轉(zhuǎn)通氣旋鈕，防止通氣忽大忽小不易控制。、
　　3、調(diào)加速電壓（如200V），屏級(jí)電壓（如1000V），陰極電流（如12A）和陽(yáng)極電壓（如55V）進(jìn)行濺射。（調(diào)劑經(jīng)驗(yàn)：在加速電壓調(diào)好后，先調(diào)節(jié)屏級(jí)電壓到要求值，然后調(diào)節(jié)陰極電流和陽(yáng)極電壓到比預(yù)定值稍小，zui后通過(guò)協(xié)調(diào)這三個(gè)旋鈕調(diào)出束流。一般調(diào)出束流后，屏級(jí)電壓調(diào)至合適就不要再跳，陰極電流對(duì)束流的影響較大，當(dāng)束流合適后，也不易再跳，主要通過(guò)陽(yáng)極電壓來(lái)控制束流為一定值。）
　　4、濺射到要求時(shí)間后，將陰極電流、陽(yáng)極電壓和屏級(jí)電壓旋到zui小，等到屏級(jí)電壓顯示值為零時(shí)，關(guān)閉他們對(duì)應(yīng)的電源開(kāi)關(guān)。
　　5、將高真空計(jì)檔打到10-1檔，關(guān)高真空計(jì)燈絲和電源開(kāi)關(guān)，關(guān)低真空計(jì)。
　　6、旋緊擴(kuò)散泵旋鈕，將電源開(kāi)關(guān)由擴(kuò)散泵打到機(jī)械泵，繼續(xù)通冷卻水。
　　7、待大約半小時(shí)以后，擴(kuò)散泵冷卻，關(guān)閉機(jī)械泵，關(guān)總電源開(kāi)關(guān)，關(guān)冷卻水。